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| 三次元量床 | |
| Brown& Sharp –Global S 7.10.7 |
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| 光學自動影像量測 | |
| Micro Vu - Vertex 311 |
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| 光學影像量測儀 | |
| Carmar - VMM-3020 |
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| 三維光學掃描儀 | |
| ZEISS GOM SCAN1 |
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| 表面粗度儀 | |
| MITSUTOYO - SJ-410 |
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| 高度規 | |
| TRIMOS V5-700 |
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| 洛式硬度測試機 | |
| FT FR-3E |
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| 膜厚計 | |
| KETT LZ-373 |
